德國ARNODLD自光纖發(fā)展以來總是提供MCVD和PCVD基礎車床,比如: SEL, Stuttgart; IPHT; Philips, Eindhoven; Schott, Mainz; 從事獨立研發(fā)過程,2005年收購HEATHWAY公司，并與LOGITEX公司合作，我們現(xiàn)在可為研發(fā)過程提供完整的不銹鋼氣柜系統(tǒng)和光纖拉絲塔。
通用玻璃車床，自動化氣體供應和混合系統(tǒng)，Restoxyd室控制內(nèi)部壓力，MCVD車床上可安裝的感應電爐，成為FCVD設備系統(tǒng) 感應電爐移動架。
MCVD系統(tǒng)用的噴燈可通過快速接頭拆卸，感應電爐移動架可方便將感應電爐移入設備中間安裝位置。成為FCVD設備系統(tǒng)。 MFC質(zhì)量流量計規(guī)格:
數(shù)字ProfiBus MFC
典型精度: ±1%，設定點為20~100% 滿量程
典型精度: ±0.2%，為2~２0% 滿量程
重復性： ± 0.3% 讀數(shù)
分辨率： 0.1%滿量程
工作溫度： 10°C ~ 50°C (環(huán)境) 中氣體濃度測量系統(tǒng)： (另選）
3個“Lorex” 氣體傳感器，測量SiCl4, GeCL4, POCl3液氣摻雜物。
通常我們測量重量：xx mg/min 液氣（PoCl3, GeCl3, SiCl4)在載氣（氧氣）中重量。但你也可以計算體積和百分比。
氣體濃度傳感器/輸送控制系統(tǒng) 可重現(xiàn)蒸氣輸送控制的行業(yè)標準。氣體濃度傳感器已成為半導體制造行業(yè)的行業(yè)標準，可用于在 CVD 和 MOCVD 工藝流程中，高精度監(jiān)控前體化學蒸氣和摻雜氣體，從而實現(xiàn)可重現(xiàn)的輸送控制。經(jīng)生產(chǎn)驗證該系統(tǒng)能為您提供：通過嚴格控制制程氣體和前體化學蒸氣的輸送，提高工藝的可重現(xiàn)性和良率。通過更高效地利用前體化學品、更充分地利用前體化學源、降低氣體流向排氣口的時間，從而降低工序成本。通過獲取設備和工藝工程師可直接讀取的定量信息，設備間的匹配更為簡便。通過內(nèi)置診斷工具，為氣體和蒸氣輸送系統(tǒng)的故障排除提供幫助。
氣體濃度測量系統(tǒng)
改進過程重復性
增加產(chǎn)量
低成本操作
使得工具-工具匹配方便
方便錯誤診斷，優(yōu)化氣體傳送系統(tǒng) |
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